使用 NChooseK 矩陣 JSL 函數對所有組合進行計量站點縮減分析丹尼爾·薩頓 (Daniel Sutton)，三星半導體公司，德克薩斯州奧斯汀
為了了解製程目標和變化來源，有必要對半導體晶圓進行計量。對於新設備的引入和初始批量生產，晶圓計量可能會使用大量站點來建立目標、設定 APC（自動製程控制）並確定整個晶圓的變化源。然而，生產過程中的持續計量通常被視為非增值。隨著製造量的增加和製程的日益成熟，問題出現了：相對於站點數量，持續計量的目的是什麼？是否可以減少站點數量來提高計量吞吐量？過去，可能根據當前地圖移除站點，並減少其他生產的站點，然後使用當前站點數據分析新地圖的影響。利用內建的 JSL 函數NChooseK矩陣(n,k ) （可產生從 N 個站點中選擇 K 個站點的所有可能組合）和預測分析器，創建了 JMP 腳本，可以快速分析和權衡所有不同 K 的組合，並允許用戶根據各種要求選擇最佳的簡化站點地圖。將顯示不同場景的範例。
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