為了降低缺陷率,光阻製造業需要對歷史製程數據進行大規模調查。對於Inpria公司的生產工程師來說,這些資料以時間序列的形式儲存在SQL資料庫中。設備感測器每兩秒記錄一次數據。因此,對新的資料指標進行大規模調查既耗時,又會帶來嚴重的資料完整性挑戰。那麼,如果您需要調查歷史生產記錄中隨時間變化的參數,該怎麼辦呢?
對於高產量製造(HVM)和中試階段的工程團隊而言,這個問題帶來的挑戰截然不同。高產量製造系統擁有多年高品質的批次記錄,而中試階段系統則是研發設備,其批次記錄的形式多種多樣,包括實驗記錄本、Excel表格和SQL資料表等。
無論資料來源是什麼,JMP 都能輕鬆匯入大量記錄資料。 SQL 查詢參數是使用這些批次記錄資料產生的。建立子集後,即可使用 JSL SQL 整合輕鬆查詢時間序列資料。之後,使用 JMP 視覺化工具對時間序列資料進行清理和探索。最後,產生一個匯總表,該表可以與缺陷率資料集進行連接。