为了降低缺陷率,光刻胶制造行业需要对历史工艺数据进行大规模调查。对于Inpria公司的生产工程师来说,这些数据以时间序列的形式存储在SQL数据库中。设备传感器每两秒记录一次数据。因此,对新的数据指标进行大规模调查既耗时,又会带来严重的数据完整性挑战。那么,如果您需要调查历史生产记录中随时间变化的参数,该怎么办呢?
对于高产量制造(HVM)和中试阶段的工程团队而言,这个问题带来的挑战截然不同。高产量制造系统拥有多年高质量的批次记录,而中试阶段系统则是研发设备,其批次记录的形式多种多样,包括实验记录本、Excel表格和SQL数据表等。
无论数据源是什么,JMP 都能轻松导入批量记录数据。SQL 查询参数是使用这些批量记录数据生成的。创建子集后,即可使用 JSL SQL 集成轻松查询时间序列数据。之后,可以使用 JMP 可视化工具对时间序列数据进行清理和探索。最后,生成一个汇总表,该汇总表可以与缺陷率数据集进行连接。