포토레지스트 제조 과정에서 불량률 감소를 위한 대규모 공정 데이터 조사가 이루어지고 있습니다. 인프리아(Inpria)의 생산 엔지니어들은 이러한 데이터를 SQL 데이터베이스에 시계열 데이터 형태로 저장하고 있습니다. 장비 센서에서 2초마다 데이터가 기록되기 때문에, 새로운 데이터 지표에 대한 대규모 조사는 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 데이터 무결성 측면에서도 심각한 문제를 야기합니다. 그렇다면 과거 생산 기록 전반에 걸쳐 시간에 따라 변하는 특정 변수를 조사해야 하는 경우에는 어떻게 해야 할까요?
HVM 및 파일럿 엔지니어링 팀에게 이 질문은 매우 다른 과제를 제시합니다. HVM 시스템은 수년간 축적된 고품질 배치 기록에 접근할 수 있습니다. 반면 파일럿 시스템은 연구 개발 장비입니다. 배치 기록은 실험 노트, 엑셀 스프레드시트, SQL 데이터 테이블 등 다양한 형태로 존재합니다.
JMP를 사용하면 데이터 소스에 관계없이 일괄 기록 데이터를 쉽게 가져올 수 있습니다. SQL 쿼리 매개변수는 이 일괄 기록 데이터를 기반으로 생성됩니다. 부분 집합이 생성되면 JSL SQL 통합을 사용하여 시계열 데이터를 간단하게 쿼리할 수 있습니다. 그 후, JMP 시각화 도구를 사용하여 시계열 데이터를 정리하고 탐색할 수 있습니다. 마지막으로 요약 테이블이 생성되며, 이 테이블은 결함률 데이터 세트와 조인할 수 있습니다.
