フォトレジスト製造における欠陥削減の取り組みは、過去のプロセスデータの大規模な調査を促します。Inpriaの生産エンジニアにとって、このデータはSQLデータベースに時系列データとして保存されます。データは機器センサーから2秒ごとに記録されます。そのため、新しいデータ指標の大規模な調査は時間がかかり、深刻なデータ整合性の課題が生じます。では、過去の生産記録全体にわたって時間依存パラメータを調査する必要がある場合はどうすればよいでしょうか？
HVM（量産）およびパイロットプラントのエンジニアリングチームにとって、この問題は全く異なる課題を突きつけます。HVMシステムは長年にわたる高品質なバッチ記録にアクセスできますが、パイロットプラントシステムは研究開発用の装置です。バッチ記録は、実験ノート、Excelスプレッドシート、SQLデータテーブルなど、さまざまな形式で存在します。
JMPでは、データソースの種類を問わず、バッチレコードデータを簡単にインポートできます。SQLクエリパラメータは、このバッチレコードデータを使用して生成されます。サブセットが作成されると、JSL SQL統合を使用して時系列データを簡単にクエリできます。その後、JMPの視覚化ツールを使用して時系列データをクリーンアップし、分析します。最後に、サマリーテーブルが生成され、これを欠陥データセットと結合できます。
