Gli sforzi per la riduzione dei difetti guidano indagini su larga scala sui dati storici di processo nella produzione di fotoresist. Per gli ingegneri di produzione di Inpria, questi dati sono archiviati come serie temporali in un database SQL. I dati vengono registrati dai sensori delle apparecchiature ogni due secondi. Di conseguenza, le indagini su larga scala di nuove metriche dei dati richiedono molto tempo e presentano serie problematiche di integrità dei dati. Quindi, cosa succede se è necessario analizzare un parametro dipendente dal tempo attraverso i dati storici di produzione?
Per i team di ingegneri HVM e Pilot, questa domanda presenta sfide molto diverse. I sistemi HVM hanno accesso ad anni di registrazioni di lotti di alta qualità. I sistemi Pilot sono apparecchiature di ricerca e sviluppo. Le registrazioni dei lotti esistono in varie forme: quaderni di laboratorio, fogli di calcolo Excel e tabelle di dati SQL.
JMP semplifica l'importazione dei dati dei batch record, indipendentemente dalla fonte dei dati. I parametri della query SQL vengono generati utilizzando questi dati dei batch record. Una volta creato un sottoinsieme, l'interrogazione dei dati delle serie temporali è semplice grazie all'integrazione SQL di JSL. Successivamente, i dati delle serie temporali vengono ripuliti ed esplorati utilizzando gli strumenti di visualizzazione di JMP. Infine, viene generata una tabella riassuntiva che può essere unita ai set di dati sulla difettosità.
