Esta charla se centra en mejorar la precisión de los experimentos de metrología mediante metodologías estructuradas y una validación rigurosa de los sistemas de medición. Presenta el papel de KLA en el ecosistema electrónico, destacando sus competencias clave en fuentes de iluminación, óptica, sensores, mecánica, ciencias físicas y procesamiento de imágenes y datos.
Un tema central es el uso estratégico del diseño de experimentos (DOE) para identificar los puntos de funcionamiento óptimos en diseños de sistemas específicos. Mediante la exploración de diseños factoriales, aleatorización, replicación y modelado predictivo, el DOE permite comprender en profundidad cómo influyen múltiples variables de entrada en el rendimiento. Una vez identificado un diseño prometedor, se aplica el análisis de sistemas de medición (MSA) para validar su fiabilidad, evaluando la repetibilidad, la reproducibilidad, el sesgo y la linealidad.
La presentación también abarca la precisión de ingeniería, la inicialización personalizada del diseño de experimentos (DOE), los resultados de la simulación, la selección de procesos y el modelado de la variabilidad del sistema de medición. Los conocimientos derivados de la metodología de evaluación del proceso de medición (EMP) confirman la robustez de la configuración optimizada y su alta capacidad para detectar cambios en el proceso. En definitiva, la charla demuestra cómo la combinación de DOE y MSA proporciona un marco sólido para seleccionar y validar el mejor diseño al desarrollar nuevos sistemas.
