본 발표는 체계적인 방법론과 측정 시스템의 견고한 검증을 통해 계측 실험의 정밀도를 향상시키는 데 중점을 둡니다. 또한 KLA가 전자 생태계에서 수행하는 역할을 소개하고, 조명 소스, 광학, 센서, 기계, 물리 과학, 이미지 및 데이터 처리 분야에서 보유한 핵심 역량을 보여줍니다.
핵심 주제는 특정 시스템 설계에 대한 최적의 작동 지점을 식별하기 위해 실험 설계(DOE)를 전략적으로 활용하는 것입니다. 요인 설계, 무작위화, 반복 및 예측 모델링을 탐색함으로써 DOE는 여러 입력 변수가 성능에 미치는 영향을 심층적으로 이해할 수 있도록 합니다. 유망한 설계가 확인되면 측정 시스템 분석(MSA)을 적용하여 반복성, 재현성, 편향 및 선형성을 평가함으로써 신뢰성을 검증합니다.
본 발표에서는 엔지니어링 정확도, 맞춤형 실험 설계(DOE) 초기화, 시뮬레이션 결과, 공정 스크리닝, 측정 시스템 변동성 모델링 등을 다룹니다. 측정 공정 평가(EMP) 방법론을 통해 최적화된 설정의 견고성과 공정 변화 감지 능력이 우수함을 확인할 수 있습니다. 궁극적으로 본 발표는 실험 설계(DOE)와 시뮬레이션 모델링(MSA)을 결합하여 새로운 시스템 개발 시 최적의 설계를 선택하고 검증하는 강력한 프레임워크를 구축하는 방법을 보여줍니다.
