本講演では、構造化された手法と測定システムの堅牢な検証を通じて、計測実験の精度向上に焦点を当てます。また、KLAがエレクトロニクスエコシステムにおいて果たす役割を紹介し、照明光源、光学、センサー、機械、物理科学、画像およびデータ処理における同社のコアコンピタンスを解説します。
中心となるテーマは、実験計画法（DOE）を戦略的に活用し、特定のシステム設計における最適な動作点を特定することです。DOEは、要因計画、ランダム化、反復、予測モデリングなどを活用することで、複数の入力変数が性能にどのように影響するかを深く理解することを可能にします。有望な設計が特定されたら、測定システム分析（MSA）を適用して信頼性を検証します。具体的には、再現性、反復性、バイアス、線形性などを評価します。
本プレゼンテーションでは、エンジニアリング精度、カスタムDOE初期化、シミュレーション結果、プロセススクリーニング、および測定システム変動のモデリングについても解説します。測定プロセス評価（EMP）手法から得られた知見は、最適化されたセットアップの堅牢性と、プロセス変動を検出する高い能力を裏付けています。最終的に、本講演では、DOEとMSAを組み合わせることで、新しいシステムを開発する際に最適な設計を選択・検証するための強力なフレームワークが構築できることを実証します。
