Dieser Vortrag konzentriert sich auf die Steigerung der Präzision in metrologischen Experimenten durch strukturierte Methoden und die robuste Validierung von Messsystemen. Er stellt die Rolle von KLA im Elektronik-Ökosystem vor und präsentiert deren Kernkompetenzen in den Bereichen Beleuchtungsquellen, Optik, Sensoren, Mechanik, Physik sowie Bild- und Datenverarbeitung.
Ein zentrales Thema ist der strategische Einsatz von Versuchsplanung (Design of Experiments, DOE) zur Ermittlung optimaler Betriebspunkte für spezifische Systemdesigns. Durch die Untersuchung faktorieller Versuchspläne, Randomisierung, Replikation und prädiktiver Modellierung ermöglicht DOE ein tiefes Verständnis dafür, wie mehrere Eingangsvariablen die Leistung beeinflussen. Sobald ein vielversprechendes Design identifiziert ist, wird die Messsystemanalyse (Measurement Systems Analysis, MSA) angewendet, um dessen Zuverlässigkeit zu validieren – dabei werden Wiederholbarkeit, Reproduzierbarkeit, systematische Abweichung und Linearität bewertet.
Die Präsentation behandelt außerdem die Genauigkeit der Konstruktionsplanung, die kundenspezifische Initialisierung von Versuchsplanungs- und Versuchsaufbauten (DOE), Simulationsergebnisse, Prozessscreening und die Modellierung der Variabilität des Messsystems. Erkenntnisse aus der Methodik zur Bewertung des Messprozesses (EMP) bestätigen die Robustheit des optimierten Aufbaus und seine hohe Fähigkeit, Prozessabweichungen zu erkennen. Abschließend zeigt der Vortrag, wie die Kombination von DOE und Messsystemanalyse (MSA) einen leistungsstarken Rahmen für die Auswahl und Validierung des besten Designs bei der Entwicklung neuer Systeme bietet.
