Cette présentation porte sur l'amélioration de la précision des expériences de métrologie grâce à des méthodologies structurées et à une validation rigoureuse des systèmes de mesure. Elle présente le rôle de KLA dans l'écosystème électronique et met en lumière ses compétences clés en matière de sources d'éclairage, d'optique, de capteurs, de mécanique, de sciences physiques, ainsi que de traitement d'images et de données.
Un thème central est l'utilisation stratégique de la planification d'expériences (DOE) pour identifier les points de fonctionnement optimaux de systèmes spécifiques. En explorant les plans factoriels, la randomisation, la réplication et la modélisation prédictive, la DOE permet de comprendre en profondeur comment de multiples variables d'entrée influencent les performances. Une fois un plan prometteur identifié, l'analyse des systèmes de mesure (MSA) est appliquée pour valider sa fiabilité – en évaluant la répétabilité, la reproductibilité, le biais et la linéarité.
La présentation aborde également la précision de l'ingénierie, l'initialisation personnalisée des plans d'expériences (DOE), les résultats de simulation, le criblage des procédés et la modélisation de la variabilité du système de mesure. Les enseignements tirés de la méthodologie d'évaluation du processus de mesure (EMP) confirment la robustesse de la configuration optimisée et sa grande capacité à détecter les dérives du processus. Enfin, la présentation démontre comment la combinaison des approches DOE et MSA offre un cadre performant pour sélectionner et valider la meilleure conception lors du développement de nouveaux systèmes.
