这张海报是关于追踪晶圆(用于制造芯片的薄片材料)的长度变化。在特定生产步骤中,设备内部所花费的时间。本质上,我们是在监控设备的运行时间。
有时,由于维护或其他生产事件,这些时间可能会突然改变或“漂移”。
我们的主要目标是创建一种统计方法,能够自动检测出这些工艺时间偏差。这项任务十分复杂,因为每台设备可以运行不同的程序(或配方),这些程序的运行时间各不相同,而且程序可能依次运行。
在清理数据并根据特定程序/配方对处理时间进行标准化后,我们测试了几种不同的检测技术。表现最佳的方法是使用滑动窗口比较中位数差异。该方法之所以有效,是因为它对极端值(例如随机峰值)具有鲁棒性,并且能够可靠地检测出处理时间的突变。
JMP平台被证明最适合在全面工业化之前验证该方法和途径。
