Questo poster riguarda il monitoraggio della durata dei wafer – le sottili fette di materiale utilizzate per costruire i chip –Il tempo trascorso all'interno di un'apparecchiatura durante una specifica fase di produzione. In sostanza, stiamo monitorando il tempo di processo dell'apparecchiatura.
A volte, a causa di interventi di manutenzione o altri eventi di produzione, questi orari possono subire modifiche improvvise o variazioni.
Il nostro obiettivo principale era creare un metodo statistico in grado di individuare automaticamente queste variazioni nei tempi di processo. Questo compito è complesso perché ogni apparecchiatura può eseguire programmi (o ricette) diversi, questi programmi non richiedono tutti lo stesso tempo e possono essere eseguiti uno dopo l'altro.
Dopo aver ripulito i dati e normalizzato i tempi di processo in base al programma/ricetta specifico, abbiamo testato diverse tecniche di rilevamento. Il metodo che ha ottenuto i risultati migliori è stato quello che confronta la differenza tra le mediane utilizzando finestre scorrevoli. Si è dimostrato efficace perché robusto rispetto ai valori estremi (come i picchi casuali) e in grado di rilevare in modo affidabile questi improvvisi cambiamenti nei tempi di processo.
La piattaforma JMP si è dimostrata la più adatta per convalidare questo metodo e approccio prima del suo passaggio a una completa industrializzazione.
