Dieses Poster zeigt, wie lange Wafer – die dünnen Materialscheiben, aus denen Chips hergestellt werden – lang sind.Wir verbringen Zeit im Inneren einer Anlage während eines bestimmten Fertigungsschritts. Im Wesentlichen überwachen wir die Prozesszeit der Anlage.
Manchmal können sich diese Zeiten aufgrund von Wartungsarbeiten oder anderen Produktionsereignissen plötzlich ändern oder „abdriften“.
Unser Hauptziel war die Entwicklung einer statistischen Methode, die diese Prozesszeitabweichungen automatisch erkennen kann. Diese Aufgabe ist komplex, da jedes Gerät unterschiedliche Programme (oder Rezepte) ausführen kann, diese Programme nicht alle gleich lange dauern und nacheinander ausgeführt werden können.
Nach der Datenbereinigung und Normalisierung der Prozesszeiten anhand des jeweiligen Programms/Rezepts testeten wir verschiedene Erkennungsverfahren. Die Methode, die die besten Ergebnisse lieferte, vergleicht die Differenz der Mediane mithilfe gleitender Fenster. Sie erwies sich als effektiv, da sie robust gegenüber Extremwerten (wie zufälligen Spitzen) ist und diese plötzlichen Änderungen der Prozesszeit zuverlässig erkennen kann.
Die JMP-Plattform erwies sich als am besten geeignet, um diese Methode und diesen Ansatz vor der vollständigen Industrialisierung zu validieren.
