Cette affiche a pour but de suivre la durée de vie des plaquettes – les fines tranches de matériau utilisées pour fabriquer les puces –Nous mesurons le temps passé à l'intérieur d'un équipement lors d'une étape de fabrication spécifique. En d'autres termes, nous surveillons le temps de traitement de l'équipement.
Parfois, en raison d'opérations de maintenance ou d'autres événements liés à la production, ces horaires peuvent soudainement changer ou « dériver ».
Notre objectif principal était de créer une méthode statistique capable de détecter automatiquement ces dérives de temps de processus. Cette tâche est complexe car chaque machine peut exécuter des programmes (ou recettes) différents, ces programmes n'ont pas tous la même durée et peuvent s'exécuter successivement.
Après avoir nettoyé les données et normalisé les temps de traitement en fonction du programme/de la recette, nous avons testé différentes techniques de détection. La méthode la plus performante compare les différences de médianes à l'aide de fenêtres glissantes. Son efficacité repose sur sa robustesse face aux valeurs extrêmes (comme les pics aléatoires) et sa capacité à détecter avec fiabilité les variations soudaines des temps de traitement.
La plateforme JMP s'est avérée la plus adaptée pour valider cette méthode et cette approche avant son passage à une industrialisation complète.
