インプロセスセンサーデータから複雑で微妙な欠陥の原因を見つけることによって、歩留まりを向上させる方法をご覧ください。このケーススタディでは、プロセス変数の上昇率の非常に小さな違いが、高価な歩留まりの問題の原因であることがわかりました。
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