Bildmerkmalextraktion für die Waferanalyse mithilfe der Python-Integration von JMP (2025-US-PO-2427)Die Wafervisualisierung ist in der Halbleiterfertigung entscheidend für die Fehleranalyse, Prozessoptimierung und Ertragssteigerung. Diese Arbeit stellt eine Methode zur automatisierten Merkmalsextraktion aus großen Bilddatensätzen mithilfe der integrierten Python-Umgebung von JMP vor. Durch die Nutzung von Bildverarbeitungsbibliotheken wie OpenCV werden RGB-Merkmale an konsistenten Koordinaten der Bilder extrahiert, um Wafer-Farbkarten für weitere statistische Analysen zu generieren. Diese Integration von JMP und Python demonstriert eine praktische Lösung für die Interpretation großer Waferbilddaten.
Automatisierung und SkriptingDatenexploration und -visualisierung
