En base a esta pregunta, pude obtener un script para crear una tabla de rendimiento.
Resuelto: Filtrado de procesos por grupos - Comunidad de usuarios de JMP
Una falla de este enfoque es que cualquier elemento de agrupación con un solo valor no se incluye en la tabla final. Por ejemplo, si los datos incluyen varias obleas de un solo lote, se informan los números de las obleas, pero no el lote.

Por cierto, actualmente soluciono este problema agregando un valor falso, realizando el proceso de selección y luego eliminando el valor falso.
dt << Add Rows( 1 );
rowz = N Rows( dt );
:LOT[rowz] = 1;
ps = dt << Process Screening(
Process Variables( Eval( SpecCols ) ),
Grouping( :WAFER, :LOT ),
Control Chart Type( "Indiv and MR" ),
Within Sigma( 0 ),
Overall Sigma( 0 ),
Stability Index( 0 ),
Mean( 0 ),
Show Tests( 0 ),
Test 1( 0 ),
Out of Spec Rate( 0 ),
Latest Out of Spec( 0 ),
Cpk( 0 ),
Ppk( 0 )
);
dt_result = Report( ps )[Outline Box( "Process Screening" ), Table Box( 1 )] <<
Make Into Data Table;
ps << close window;
dt << Delete Rows( rowz );