Basierend auf dieser Frage konnte ich ein Skript zum Erstellen einer Ertragstabelle erhalten.
Gelöst: Prozess-Screening nach Gruppen - JMP-Benutzer-Community
Ein Nachteil dieses Ansatzes besteht darin, dass Gruppierungselemente mit nur einem Wert in der fertigen Tabelle fehlen. Wenn die Daten beispielsweise mehrere Wafer aus nur einer Charge enthalten, werden zwar die Wafernummern, nicht jedoch die Chargennummer gemeldet.

Übrigens umgehe ich dies derzeit, indem ich einen falschen Wert hinzufüge, die Prozessprüfung durchführe und den falschen Wert anschließend entferne.
dt << Add Rows( 1 );
rowz = N Rows( dt );
:LOT[rowz] = 1;
ps = dt << Process Screening(
Process Variables( Eval( SpecCols ) ),
Grouping( :WAFER, :LOT ),
Control Chart Type( "Indiv and MR" ),
Within Sigma( 0 ),
Overall Sigma( 0 ),
Stability Index( 0 ),
Mean( 0 ),
Show Tests( 0 ),
Test 1( 0 ),
Out of Spec Rate( 0 ),
Latest Out of Spec( 0 ),
Cpk( 0 ),
Ppk( 0 )
);
dt_result = Report( ps )[Outline Box( "Process Screening" ), Table Box( 1 )] <<
Make Into Data Table;
ps << close window;
dt << Delete Rows( rowz );