在半導體產業，由於客戶對低成本元件的需求不斷增長，工具日誌資料分析對於提高工具使用效率至關重要。部署基於 JMP®（SAS Institute）視覺化工具的技術賦能服務，能夠幫助我們更有效率地回應維護事件。利用 JMP 的分佈、直方圖和箱線圖選項分析流程運作情況，有助於我們聚焦問題區域並縮短維護時間。我們應用 Wilcoxon 非參數檢定對工具停機時間進行假設檢驗，以檢查其與目標值的偏差並確定維護事件的置信區間。 JMP 品質與控制的帕累托圖和石川因果圖用於根本原因分析和行動計劃。動態 JMP 儀表板顯示箱線圖以及上述效能測試結果，有助於更好地規劃維護活動並確定優先順序。 JMP 儀表板的快速視覺化功能可以顯示預防性維護 (PM) 成功與失敗與 PM 類型的依賴關係。
大家好，我是Neha Kaushal，今天我的合作者Srivida也和我一起。我們在應用材料公司從事技術諮詢工作，主要負責半導體製程工具的數據分析。在本研究中，我們將探討如何利用JMP儀錶板來優化半導體製程的工具維護。
在半導體產業，由於客戶對低成本元件的需求不斷增長，工具日誌資料分析對於高效使用工具至關重要，部署具有 JMP 視覺化功能的技術支援服務使我們能夠更有效地回應製程工具的預防性維護事件。
盡量縮短維護（也稱為預防性維護，PM）期間的工具使用時間，可以提升工具性能，這意味著我們可以提供更優質的PM服務，從而提高產量和客戶滿意度。使用JMP的分佈圖、箱線圖等工具分析這兩個日誌，有助於在維護過程中找出問題所在。
本研究旨在識別不同類型預防性維護 (PM) 流程中生產停機時間的改進機會。針對此過程，我們區分了小型維護和大型維護事件。根據首次 PM 的成功或失敗情況，我們將維護事件分為四類：首次 PM 成功的小型維護、首次 PM 成功的大型維護、首次 PM 失敗的小型維護以及首次 PM 失敗的大型維護。
此方法的第一步是使用 JMP Graph Builder，根據生產停機時間百分比對工具進行優先排序。讓我來示範一下。例如，這裡我們繪製了工具停機時間百分比的圖表，X 軸為工具 ID。我們可以快速查看並確定工具 A 的停機時間百分比最高。這可能是我們需要優先改進的工具。
然後，我們根據預防性維護（PM）持續時間比較不同類型的PM，以尋找流程最佳化的機會。接下來，我們建立PM持續時間的分佈模型，檢驗其是否符合常態分佈。如果不符合，則研究常態性違背因素，例如異常值、偏度等。由於資料偏離常態分佈，我們採用非參數方法進行假設檢驗，以檢驗四種PM事件類型之間的差異。最後，我們建立了一個快速互動式儀表板，用於分析工具停機時間和PM效能。
現在，我將把麥克風交給我的合著者斯里維達，由她來解釋結果部分。
本節將介紹方法和結果。我們在分發平台上分析了PM持續時間數據，總結統計結果顯示平均值大於中位數，且偏度較高。常態分位數圖也證實了資料集呈現右偏分佈，且存在顯著的異常值。
因此，適合常態分佈的適合度檢定的 P 值不合格，而適合柯西分佈的適合度檢定的 P 值合格。所以，我們的數據服從柯西分佈。
因此，我們採用穩健擬合異常值檢測方法分析了異常值的存在情況，並發現了11個異常值，需要進行根本原因分析。在此，我們基於預防性維護（PM）持續時間，透過非參數分析比較了不同類型的PM，以尋找PM流程最佳化的機會。根據P值，此處所示的三種模型（Wilcoxon檢定、中位數檢定和Van der Waeden檢定）均顯示不同類型的PM之間存在顯著差異。
此外，我們使用 Wilcoxon 符號秩檢定對每對樣本進行非參數比較，結果表明，輕微預防性維護成功與輕微預防性維護失敗之間存在顯著差異（基於 P 值）。為什麼呢？重大預防性維護成功與重大預防性維護失敗之間則不存在顯著差異（基於 P 值）。
現在，我們將示範如何使用 JMP 建立儀表板，以便快速報告專案管理 (PM) 成功與失敗對 PM 類型的依賴關係。接下來，我將帶您進入 JMP 儀表板部分。我們可以從文件建立儀表板，選擇「新儀表板」選項，然後選擇平台，並進行假設檢定、繪製箱線圖等操作來建立儀表板。這是我們根據分析結果建立的儀表板。使用此儀表板，我們可以互動式地逐一選擇工具，來解釋 PM 成功與失敗對 PM 類型的依賴關係。
根據這項研究，我們得出結論：首次預防性維護 (PM) 的成功與否對 PM 類型有顯著影響。我們發現，首次 PM 的成功對小型 PM 的影響較大，而對大型 PM 的影響則微乎其微。首次 PM 成功和失敗的 PM 持續時間中位數相等。
下一步是對工具進行分析，以確定改進範圍。我們要感謝所有參與 Oasis 計畫的利害關係人，感謝他們提供的幫助。他們是：Charles C. Chen、Chandrasekhar Roy、Vikas Jangra 和 Sidda Reddy Kurakula。
好了，埃洛迪，我們的演講到此結束。如果你有任何問題，我們都可以解答。
