JMP® 統計分析工具在製程表徵的應用作者
美敦力製程開發工程師 Pradipta Kumar Das
本文討論如何使用 JMP 中的工具來規劃、執行和分析兩個連續製程的組合製程特性。在實驗規劃、執行和數據分析中使用了歷史知識和上游和下游過程之間影響的假設。所研究的五個實驗因素包括一個難以改變的因素（F1）和研究過程中的四個其他因素（F2 到 F5）。為了對製程步驟 A、B 和 C 進行誤差傳播分析，選擇了具有主效應、二次、三因子交互作用模型的自訂實驗裂區設計。預測變異數、設計空間分數和效能分析得出的 DOE 由五個完整 F1 圖中的每個圖的 12 個獨特的 F2-F5 組合運行組成，總共 60 次實驗運行。分析了過程 B 和過程 C 中的 8 個回應。資料分析包括使用圖形產生器、分佈分析和透過 X 擬合 Y 來檢查資料完整性。然後使用迭代項減少的擬合模型來建立模型。使用分析器和模擬器工具對缺陷率進行了最佳化。最後，使用行殘差圖評估運行內和運行間變化。
