JMP® 统计分析工具在过程表征中的应用作者
美敦力工艺开发工程师 Pradipta Kumar Das
本文讨论了 JMP 中可用的工具在规划、执行和分析两个连续过程的组合过程特性中的应用。在实验规划、执行和数据分析中使用了历史知识和上游和下游过程之间影响的假设。研究的五个实验因素包括一个难以改变的因素 (F1) 和研究过程中的四个其他因素 (F2 到 F5)。选择了一种具有主效应、二次、三因子交互模型的自定义实验裂区设计，目的是在过程步骤 A、B 和 C 之间进行误差传播分析。预测方差、设计空间分数和功效分析导致 DOE 由五个完整 F1 图中的每一个的 12 次 F2-F5 组合的独特运行组成，总共 60 次实验运行。分析了过程 B 和 C 的八个响应。数据分析包括使用图形生成器、分布分析和拟合 Y 以 X 来检查数据完整性。然后使用迭代项减少的拟合模型来创建模型。使用剖析器和模拟器工具对缺陷率进行优化。最后，使用行残差图评估运行内和运行间变化。
