Gianpaolo Polsinelli
SENIOR DATA-MINING-INGENIEUR
Abstrakt:
In einer Siliziumfabrik werden für jeden einzelnen Siliziumwafer verschiedene elektrische und funktionelle Messungen durchgeführt.
Daher ist es sehr wichtig, in einer großen Datenmenge diejenigen Variablen zu identifizieren, die die Waferausbeute, den wichtigsten Leistungsindikator, wirklich beeinflussen. Üblicherweise wird hierfür ein Streudiagramm mit einer linearen Regressionsanpassung verwendet.
Diese Technik funktioniert jedoch nur dann gut, wenn die Verteilungen normal sind und keine Ausreißer und Datenrauschen vorhanden sind. All diese Faktoren können den tatsächlichen Zusammenhang zwischen Ertragsverlusten und Inline-Problemen verschleiern.
