可视化单位内多个度量值的空间信息;由 JSL 支持Tony Cooper 博士,SAS 首席分析顾问
SAS 首席技术顾问 Sam Edgemon
半导体晶圆制造和 CMM(坐标测量机)为单个部件提供许多测量。单元内重复测量的另一个例子是缺陷计数。此数据包括单元内位置。使用空间信息进行建模可能很困难,但可视化中应始终使用空间信息。此数据提供的潜在信息包括:“当前单元是否与其他近期单元相似?”和“单元内的机会集中在哪里?”可以使用主成分分析 (PCA)、多元控制图和聚类来分析和可视化此数据。最重要的是,将使用 JMP 中的自定义映射来可视化数据。需要有多种数据排列才能进行分析;拆分数据以进行 PCA 和聚类,还将聚类信息与原始堆叠视图合并。本演示文稿介绍了一种使用 JMP 脚本简化的方法,以在控制图上指示类似的处理时间段,然后在每个时间段内映射部件内信息。
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