JMP 소프트웨어 시각화 및 분석 기술을 사용하여 불량 도구 및 프로세스 상태 드리프트 식별
짐 넬슨,엔지니어링 데이터 전문가 – Freescale Semiconductor
집적 회로(컴퓨터 칩)를 만드는 데는 매우 까다로운 일련의 단계가 수백 개 있습니다. 이러한 단계에서는 수백 개의 서로 다른 장비가 사용됩니다. 공정 드리프트와 수율 감소는 반도체 산업에서 두려운 현실입니다. 공정 단계 및/또는 도구 또는 도구 조합이 공정 드리프트 또는 수율 감소에 기여했는지 파악하는 것은 시간이 많이 걸리고 복잡한 과정으로, Freescale에서 엔지니어의 상당한 시간을 차지합니다. JMP 소프트웨어에서 제공하는 분석 도구, Freescale에서 개발한 통계적 방법론, Freescale에서 개발한 분석 및 시각화 JMP 스크립트를 결합하여 이러한 문제를 해결하고 있습니다. 이 논문에서는 Freescale에서 개발한 방법론인 분할, 드리프트 분석의 단계 원점(SODA) 및 Freescale에서 개발한 두 가지 JMP 소프트웨어 스크립트를 사용하는 방법을 설명합니다. 이 스크립트를 사용하면 통계적 평가에 따라 차트와 그래프를 정렬할 수 있으며 차트에서 차트로 매우 빠르게 이동할 수 있습니다. 이 방법론은 엔지니어에게 프로세스를 다시 정렬하기 위해 무엇을 해야 하는지에 대한 의사 결정을 내릴 때의 지식과 경험에 맞는 시각적 증거를 제공하는 도구와 분석적 지침을 결합하는 매우 긍정적인 조합을 가능하게 합니다.
