Identifizierung von Rogue-Tools und Prozesszustandsabweichungen mithilfe der Visualisierungs- und Analysetechniken der JMP-Software
Jim Nelson,Spezialist für technische Daten – Freescale Semiconductor
Die Herstellung integrierter Schaltkreise (Computerchips) umfasst Hunderte anspruchsvoller Schritte. Dabei kommen Hunderte verschiedener Geräte zum Einsatz. Prozessdrift und Ertragsverluste sind in der Halbleiterindustrie eine gefürchtete Realität. Die Identifizierung der Prozessschritte und/oder Werkzeuge bzw. Werkzeugkombinationen, die zu Prozessdrift oder Ertragsverlusten beigetragen haben, ist ein zeitaufwändiger und komplexer Prozess, der einen erheblichen Teil der Ingenieurzeit bei Freescale in Anspruch nimmt. Zur Lösung dieser Probleme werden JMP-Analysetools, von Freescale entwickelte statistische Methoden sowie von Freescale entwickelte JMP-Skripte für Analyse und Visualisierung eingesetzt. Dieses Dokument beschreibt die Anwendung von Partitionierung, einer von Freescale entwickelten Methode, der Step Origin of a Drift Analysis (SODA) und zwei von Freescale entwickelten JMP-Skripten. Die Skripte ermöglichen die Anordnung der Diagramme und Grafiken anhand statistischer Auswertungen sowie den schnellen Wechsel zwischen den Diagrammen. Diese Methodik ermöglicht eine sehr positive Kombination aus analytischer Anleitung und Tools, die den Ingenieuren visuelle Beweise liefern, die ihr Wissen und ihre Erfahrung bei der Entscheidungsfindung darüber untermauern, was getan werden muss, um die Prozesse wieder in Einklang zu bringen.
