Identification des outils malveillants et des dérives d'état des processus à l'aide des techniques de visualisation et d'analyse du logiciel JMP
Jim Nelson,Spécialiste des données d'ingénierie – Freescale Semiconductor
La fabrication de circuits intégrés (puces informatiques) nécessite des centaines d'étapes très rigoureuses. Des centaines d'équipements différents sont utilisés lors de ces étapes. Les dérives de processus et les baisses de rendement sont une réalité redoutée dans l'industrie des semi-conducteurs. Identifier les étapes de processus et/ou l'outil ou la combinaison d'outils qui ont contribué à ces dérives ou baisses de rendement est un processus long et complexe, qui mobilise une part considérable du temps des ingénieurs de Freescale. Une combinaison d'outils d'analyse fournis par le logiciel JMP, de méthodologies statistiques et de scripts JMP d'analyse et de visualisation développés par Freescale est utilisée pour résoudre ces problèmes. Cet article décrit l'utilisation du partitionnement, une méthodologie développée par Freescale, l'analyse de l'origine des étapes d'une dérive (SODA) et deux scripts JMP développés par Freescale. Ces scripts permettent d'ordonner les graphiques et les diagrammes en fonction d'une évaluation statistique et de passer très rapidement d'un graphique à l'autre. Cette méthodologie permet une combinaison très positive de conseils analytiques, couplés à des outils qui fournissent aux ingénieurs des preuves visuelles correspondant à leurs connaissances et à leur expérience dans la prise de décisions sur ce qui doit être fait pour réaligner les processus.
