使用 JSL 對半導體晶圓空間圖案進行分類作者
Don Kent，IM Flash Technologies 資深產品工程師肯特
在半導體大批量生產中，每週都會有一些晶圓被歸類為低成品率。這些晶圓通常具有獨特的空間特徵。類似地，許多產量提升機會都與具有微妙空間特徵的晶圓有關。在這兩種情況下，空間模式都為改進過程提供了線索。審查和分類這些空間特徵的努力通常會取得成果；然而，這些努力耗費的時間最長，解釋也最具爭議。已經使用 JSL 創建了晶圓空間模式分類腳本。空間統計和機器學習已與高維度資料分析技術相結合，應用於自適應聚類和晶圓視覺化應用。 JSL 解決方案利用 JMP 中的多個平台，包括 PCA 和 Clustering，並使用 Graph Builder 透過引用自訂晶圓圖檔案來視覺化產生的空間聚類。該插件部署在 IM Flash 網路上，允許工程師和技術人員根據晶圓的空間特徵將其快速分類為相似的群組。透過提供比手動評分方法更快、更準確的資料探勘可靠指標，可以更快地確定根本原因。
