使用 JSL 对半导体晶圆空间图案进行分类作者
Don Kent，IM Flash Technologies 高级产品工程师肯特
在半导体大批量制造中，每周都会有一些晶圆被归类为低良率。这些晶圆通常具有独特的空间特征。同样，许多良率提升机会与具有细微空间特征的晶圆有关。在这两种情况下，空间模式都为改进工艺提供了线索。审查和分类这些空间特征的努力通常会取得成果；然而，这些努力耗时最长，而且解释也最不明确。使用 JSL 创建了晶圆空间模式分类脚本。在自适应聚类和晶圆可视化应用程序中，空间统计和机器学习与高维数据分析技术相结合。JSL 解决方案利用了 JMP 中的多个平台，包括 PCA 和 Clustering，并使用 Graph Builder 通过引用自定义晶圆图文件来可视化生成的空间聚类。该插件部署在 IM Flash Network 中，允许工程师和技术人员根据晶圆的空间特征快速将其分类为相似的组。通过提供比手动评分方法更快、更准确的数据挖掘可靠指标，可以更快地确定根本原因。
