JSL을 이용한 반도체 웨이퍼 공간 패턴 분류작가
Don Kent, IM Flash Technologies의 수석 제품 엔지니어 디켄트
반도체 대량 생산에서 매주 일부 웨이퍼는 저수율로 분류됩니다. 이러한 웨이퍼는 종종 뚜렷한 공간적 특징을 가지고 있습니다. 마찬가지로, 많은 수율 개선 기회는 미묘한 공간적 특징을 가진 웨이퍼와 관련이 있습니다. 두 경우 모두 공간적 패턴은 공정 개선에 대한 단서를 제공합니다. 이러한 공간적 특징을 검토하고 분류하려는 노력은 일반적으로 결실을 맺지만, 이러한 노력은 가장 오랜 시간이 걸리고 해석에 가장 열려 있습니다. 웨이퍼 공간 패턴 분류 스크립트는 JSL을 사용하여 만들어졌습니다. 공간 통계와 머신 러닝은 적응형 클러스터링 및 웨이퍼 시각화 애플리케이션에서 고차원 데이터 분석 기술과 결합되었습니다. JSL 솔루션은 PCA 및 클러스터링을 포함한 JMP 내의 여러 플랫폼을 활용하고 Graph Builder를 사용하여 사용자 지정 웨이퍼 맵 파일을 참조하여 결과 공간 클러스터를 시각화합니다. IM Flash Network에 배포된 이 추가 기능을 사용하면 엔지니어와 기술자가 공간적 특징을 기반으로 웨이퍼를 유사한 그룹으로 빠르게 분류할 수 있습니다. 이를 통해 수동 채점 방법보다 빠르고 정확한 데이터 마이닝을 위한 신뢰할 수 있는 지표를 제공함으로써 더 빠르게 근본 원인을 파악할 수 있습니다.
