JSL による半導体ウェーハの空間パターン分類著者
Don Kent、シニアプロダクトエンジニア、IM Flash Technologies ケント
半導体の大量生産では、毎週、一部のウェーハが低歩留まりに分類されます。これらのウェーハには、多くの場合、明確な空間シグネチャがあります。同様に、多くの歩留まり改善の機会は、微妙な空間シグネチャを持つウェーハに関連しています。どちらの場合も、空間パターンはプロセス改善の手がかりとなります。これらの空間シグネチャを確認して分類する取り組みは、通常、成果を上げますが、これらの取り組みには最も長い時間がかかり、解釈の余地が最も大きいです。ウェーハ空間パターン分類スクリプトは、JSL を使用して作成されました。空間統計と機械学習は、適応型クラスタリングおよびウェーハ視覚化アプリケーションで高次元データ分析手法と組み合わされています。JSL ソリューションは、PCA やクラスタリングなど、JMP 内のいくつかのプラットフォームを利用し、カスタム ウェーハ マップ ファイルを参照して、結果として得られる空間クラスターを視覚化するためにグラフ ビルダーを使用します。IM Flash ネットワーク全体に展開されたこのアドインにより、エンジニアや技術者は、空間シグネチャに基づいてウェーハを類似のグループにすばやく分類できます。これにより、手動のスコアリング方法よりも高速かつ正確なデータ マイニング用の信頼性の高いメトリックが提供され、根本原因をより迅速に特定できるようになります。
