Autore
Don Kent, Senior Product Engineer, IM Flash Technologies Denteggiare
Nella produzione di semiconduttori ad alto volume, alcuni wafer ogni settimana vengono classificati come a bassa resa. Spesso questi wafer hanno firme spaziali distinte. Analogamente, molte opportunità di miglioramento della resa sono collegate a wafer con sottili firme spaziali. In entrambi i casi, i modelli spaziali offrono indizi per migliorare il processo. Gli sforzi per rivedere e classificare queste firme spaziali in genere danno i loro frutti; tuttavia, questi sforzi richiedono più tempo e sono più aperti all'interpretazione. È stato creato uno script di classificazione dei modelli spaziali dei wafer utilizzando JSL. Le statistiche spaziali e l'apprendimento automatico sono stati combinati con tecniche di analisi dei dati ad alta dimensione in un'applicazione di clustering adattivo e visualizzazione dei wafer. La soluzione JSL utilizza diverse piattaforme all'interno di JMP, tra cui PCA e Clustering, e utilizza Graph Builder per visualizzare i cluster spaziali risultanti facendo riferimento a file di mappe wafer personalizzati. Questo componente aggiuntivo, distribuito su IM Flash Network, consente a ingegneri e tecnici di classificare rapidamente i wafer in gruppi simili in base alle loro firme spaziali. Ciò consente una determinazione più rapida della causa principale, fornendo una metrica affidabile per il data mining, più rapida e precisa rispetto ai metodi di punteggio manuali.
