產量、統計和 JMP 產量 JMP:一種用於提高產量的統計工具…產量、統計和 JMP 產量 JMP:用於提高半導體產業產量的統計工具
Francois Bereget,Ippon Innovation; Soitec 公司的 Alexandre Courvat
半導體是一個非常複雜的行業,涉及數百種操作(製程階段)和數百個參數,產品對小至 0.1 微米的顆粒敏感,並且採用尖端技術。 SOITEC 正在基於一種名為 SOI(絕緣體上矽)的技術製造襯底晶圓,為主要晶片製造商提供低消耗、高性能的原材料。在大規模晶圓製造廠中,由於客戶對品質的要求非常嚴格,因此需要新的製程控制工具,以便快速檢測任何故障的製程工具,並找到與某些製程階段相關但不依賴工具的複雜產量問題的根本原因。對產量工程師的關鍵要求是一種統計工具,該工具具有兩個特點:足夠自動化,可以快速突出顯示造成產量損失的一組非常有限的工藝參數(數百個參數中);足夠交互,能夠根據“工程知識”調整分析。選擇 JMP 軟體有 3 個原因:它使用適合半導體複雜性的先進統計方法,它非常用戶友好,所有工程師都可以輕鬆執行額外統計,它包含一個強大的程式語言 JSL,可以對數千個輸入和輸出參數進行自動分析。