RENDIMIENTO, ESTADÍSTICAS Y JMP Rendimiento JMP: una herramienta estadística para la mejora del rendimiento en la industria de semiconductores
François Bereget, Ippon Innovation; Alexandre Courvat, Soitec
La industria de semiconductores es muy compleja, ya que gestiona cientos de operaciones (etapas de proceso) y cientos de parámetros, con productos sensibles a partículas de hasta 0,1 micras y tecnologías de vanguardia en funcionamiento. SOITEC fabrica obleas de sustrato basadas en la tecnología SOI (Siliconio sobre Aislante), que proporciona a los principales fabricantes de chips materia prima que permite un bajo consumo y un alto rendimiento. En una fábrica de obleas de gran volumen, con exigentes requisitos de calidad por parte de los clientes, se necesitan nuevas herramientas de control de procesos para detectar rápidamente cualquier herramienta defectuosa y para encontrar la causa raíz de problemas complejos de rendimiento relacionados con algunas etapas del proceso, pero que no dependen de la herramienta. El requisito clave para los ingenieros de rendimiento es una herramienta estadística con dos características: ser lo suficientemente automática como para identificar rápidamente un conjunto muy limitado de parámetros de proceso (entre cientos) responsables de las pérdidas de rendimiento, y lo suficientemente interactiva como para ajustar el análisis teniendo en cuenta los conocimientos de ingeniería. El software JMP fue seleccionado por tres razones: utiliza un método estadístico avanzado adaptado a la complejidad de los semiconductores, es muy fácil de usar y todos los ingenieros pueden realizar estadísticas adicionales sin esfuerzo, incluye un poderoso lenguaje de programación, JSL, para desarrollar análisis automáticos para miles de parámetros de entrada y salida.
