产量、统计和 JMP 产量 JMP：一种用于提高产量的统计工具……产量、统计和 JMP 产量 JMP：用于提高半导体行业产量的统计工具
Francois Bereget，Ippon Innovation；Alexandre Courvat，Soitec
半导体是一个非常复杂的行业，涉及数百种操作（工艺阶段）和数百种参数，产品对小至 0.1 微米的颗粒非常敏感，并且采用尖端技术。SOITEC 基于一种称为 SOI（绝缘体上硅）的技术制造衬底晶圆，为主要芯片制造商提供低消耗、高性能的原材料。在大批量晶圆厂中，由于客户对质量的要求非常高，因此需要新的工艺控制工具来快速检测任何有故障的工艺工具，并找出与某些工艺阶段相关但不依赖于工具的复杂产量问题的根本原因。对产量工程师的关键要求是一种统计工具，该工具应具有两个特点：足够自动化，可以快速突出显示造成产量损失的一组非常有限的工艺参数（数百个参数中）；足够交互，能够根据“工程知识”调整分析。选择 JMP 软件有 3 个原因：它使用适合半导体复杂性的先进统计方法，它非常用户友好，所有工程师都可以轻松执行额外统计，它包含一个强大的编程语言 JSL，可以对数千个输入和输出参数进行自动分析。
