수율, 통계 및 JMP 수율 JMP: 반도체 산업의 수율 향상을 위한 통계 도구
프랑수아 베레제, 이폰 이노베이션; 알렉상드르 쿠르바, 소이텍
반도체는 수백 가지의 작업(공정 단계)과 수백 가지의 매개변수를 다루는 매우 복잡한 산업으로, 0.1마이크론만큼 작은 입자에도 민감한 제품과 최첨단 기술이 사용됩니다. SOITEC은 SOI(Silicon On Insulator)라는 기술을 기반으로 기판 웨이퍼를 제조하여 주요 칩 제조업체에 낮은 소비와 높은 성능을 가능하게 하는 원자재를 제공합니다. 품질 측면에서 매우 강력한 고객 요구 사항이 있는 대량 웨이퍼 팹에서 결함 있는 공정 도구를 신속하게 감지하고 일부 공정 단계와 관련된 복잡한 수율 문제의 근본 원인을 찾기 위해 새로운 공정 제어 도구가 필요하지만 도구에 의존하지는 않습니다. 수율 엔지니어의 핵심 요구 사항은 두 가지 특성을 가진 통계적 도구입니다. 수율 손실에 책임이 있는 매우 제한된 공정 매개변수(수백 개 중)를 신속하게 강조 표시할 수 있을 만큼 충분히 자동적이고, "엔지니어링 지식"을 고려하여 분석을 조정할 수 있을 만큼 충분히 상호 작용적입니다. JMP 소프트웨어가 선택된 데에는 3가지 이유가 있습니다. 첫째, 반도체 복잡성에 맞게 적용된 고급 통계적 방법을 사용하고, 둘째, 사용하기 매우 편리하여 모든 엔지니어가 추가 통계를 쉽게 수행할 수 있으며, 셋째, 강력한 프로그래밍 언어인 JSL이 포함되어 수천 개의 입력 및 출력 매개변수에 대한 자동 분석을 개발할 수 있습니다.
