RENDIMENTO, STATISTICHE E JMP Rendimento JMP: uno strumento statistico per il miglioramento della resa nell'industria dei semiconduttori
Francois Bereget, Ippon Innovation; Alexandre Courvat, Soitec
I semiconduttori sono un settore molto complesso, che si occupa di centinaia di operazioni (fasi di processo) e centinaia di parametri, con prodotti sensibili a particelle piccole fino a 0,1 micron e tecnologie all'avanguardia al lavoro. SOITEC produce wafer di substrato basati su una tecnologia chiamata SOI - Silicon On Insulator, fornendo ai principali produttori di chip materie prime che consentono bassi consumi e alte prestazioni. In una fabbrica di wafer di grandi volumi, con requisiti dei clienti molto elevati in termini di qualità, sono necessari nuovi strumenti di controllo del processo per rilevare rapidamente qualsiasi strumento di processo difettoso e anche per trovare la causa principale di complessi problemi di resa correlati ad alcune fasi di processo, ma non dipendenti dallo strumento. Il requisito chiave degli ingegneri della resa è uno strumento statistico con due caratteristiche: sufficientemente automatico da evidenziare rapidamente un set molto limitato di parametri di processo (tra centinaia) responsabili delle perdite di resa, sufficientemente interattivo da poter regolare l'analisi tenendo conto delle "conoscenze ingegneristiche". Il software JMP è stato selezionato per 3 motivi: utilizza un metodo statistico avanzato adattato alla complessità dei semiconduttori, è molto intuitivo e tutti gli ingegneri possono eseguire statistiche aggiuntive senza problemi, include un potente linguaggio di programmazione, JSL, per sviluppare analisi automatiche per migliaia di parametri di input e output.
