AUSBEUTE, STATISTIK UND JMP Yield JMP: ein statistisches Tool zur Ertragssteigerung in der Halbleiterindustrie
Francois Bereget, Ippon Innovation; Alexandre Courvat, Soitec
Die Halbleiterindustrie ist ein hochkomplexer Industriezweig, der Hunderte von Vorgängen (Prozessstufen) und Hunderten von Parametern umfasst. Dabei kommen Produkte zum Einsatz, die empfindlich auf Partikel bis zu 0,1 Mikrometer reagieren. Hier kommen Spitzentechnologien zum Einsatz. SOITEC produziert Substratwafer auf Basis der SOI-Technologie (Silicon On Insulator) und versorgt wichtige Chiphersteller mit Rohmaterial, das niedrigen Verbrauch und hohe Leistung ermöglicht. In einer Waferfabrik mit großem Volumen und sehr hohen Qualitätsanforderungen der Kunden werden neue Werkzeuge zur Prozesssteuerung benötigt, um fehlerhafte Prozesswerkzeuge rasch zu erkennen und auch die Grundursache komplexer Ertragsprobleme zu finden, die mit einigen Prozessstufen zusammenhängen, aber nicht vom Werkzeug abhängen. Die wichtigste Anforderung der Ertragsingenieure ist ein Statistikwerkzeug mit zwei Eigenschaften: Es muss automatisch genug sein, um rasch eine sehr begrenzte Anzahl (unter Hunderten) von Prozessparametern hervorzuheben, die für Ertragsverluste verantwortlich sind, und interaktiv genug, um die Analyse unter Berücksichtigung des „Ingenieurwissens“ optimieren zu können. Die JMP-Software wurde aus drei Gründen ausgewählt: Sie verwendet eine fortschrittliche statistische Methode, die an die Komplexität von Halbleitern angepasst ist. Sie ist sehr benutzerfreundlich und alle Ingenieure können problemlos zusätzliche Statistiken durchführen. Sie enthält eine leistungsstarke Programmiersprache, JSL, um automatische Analysen für Tausende von Eingabe- und Ausgabeparametern zu entwickeln.
