RENDEMENT, STATISTIQUES ET JMP Yield JMP : un outil statistique pour l'amélioration du rendement dans l'industrie des semi-conducteurs
François Bereget, Ippon Innovation ; Alexandre Courvat, Soitec
L'industrie des semi-conducteurs est très complexe, impliquant des centaines d'opérations (étapes de processus) et des centaines de paramètres, avec des produits sensibles à des particules aussi petites que 0,1 micron, et des technologies de pointe. SOITEC fabrique des plaquettes de substrat basées sur la technologie SOI (Silicium sur Isolant), fournissant aux principaux fabricants de puces une matière première permettant une faible consommation et des performances élevées. Dans une usine de fabrication de plaquettes de grande série, où les clients sont très exigeants en termes de qualité, de nouveaux outils de contrôle de processus sont nécessaires pour détecter rapidement tout outil défectueux et identifier la cause profonde des problèmes de rendement complexes liés à certaines étapes du processus, mais indépendants de l'outil. L'exigence clé des ingénieurs de rendement est un outil statistique présentant deux caractéristiques : suffisamment automatique pour mettre en évidence rapidement un ensemble très limité de paramètres de processus (parmi une centaine) responsables des pertes de rendement, et suffisamment interactif pour ajuster l'analyse en tenant compte des connaissances techniques. Le logiciel JMP a été sélectionné pour 3 raisons : il utilise une méthode statistique avancée adaptée à la complexité des semi-conducteurs, il est très convivial et tous les ingénieurs peuvent effectuer des statistiques supplémentaires sans difficulté, il comprend un langage de programmation puissant, JSL, pour développer des analyses automatiques pour des milliers de paramètres d'entrée et de sortie.
