快速熱過程DOE和模擬
傑夫赫伯特傑弗裡·赫伯特
德州儀器
在對複雜的 RTP 交互作用進行建模之後，我們得出結論：當前系統次優，工具內部回饋有效，而外部回饋迴路才是問題所在。因此，我們不需要完全改變系統，但可以微調回饋迴路。我們克服了使用和傳達模型方面的挑戰，形成了考慮到正在使用的加工設備的特性的可操作模型。
