快速热过程DOE和模拟
杰夫·赫伯特杰弗里·赫伯特
德州仪器
在对复杂的 RTP 交互进行建模后，我们得出结论，当前系统不是最优的，工具内部反馈有效，外部反馈回路才是问题所在。因此，我们不需要完全改变系统，但可以微调反馈回路。我们克服了使用和交流模型的挑战，最终形成了一个可操作的模型，该模型考虑到了所用加工设备的特性。
