급속 열 공정 DOE 및 시뮬레이션급속 열 공정 DOE 및 시뮬레이션
제프 허버트 제프리.헤버트
텍사스 인스트루먼트
복잡한 RTP 상호작용을 모델링한 후, 현재 시스템은 최적이 아니며, 도구 내부 피드백이 작동하고, 외부 피드백 루프가 문제라는 결론을 내렸습니다. 따라서 시스템을 완전히 변경할 필요는 없었지만 피드백 루프를 미세 조정할 수 있었습니다. 모델을 사용하고 전달하는 과제를 극복하여 사용 중인 처리 장비의 특성을 고려한 실행 가능한 모델로 수렴했습니다.
