急速熱処理プロセスDOEとシミュレーション急速熱処理プロセスDOEとシミュレーション
ジェフ・ヘバートジェフリー・ヘバート
テキサス・インスツルメンツ
複雑な RTP の相互作用をモデル化した後、現在のシステムは最適ではなく、ツールの内部フィードバックは機能しており、外部フィードバック ループに問題があるという結論に達しました。したがって、システムを完全に変更する必要はなく、フィードバック ループを微調整することができました。モデルの使用と伝達の課題を克服し、使用中の処理機器の特性を考慮した実用的なモデルに収束しました。
