Schnelle thermische Prozess-DOE und -Simulation
Jeff Hebert Jeffrey Hebert
Texas Instruments
Nach der Modellierung komplexer RTP-Interaktionen kamen wir zu dem Schluss, dass das aktuelle System nicht optimal war, das interne Feedback des Tools funktionierte und die externe Feedbackschleife das Problem darstellte. Daher mussten wir das System nicht komplett ändern, sondern konnten die Feedbackschleife optimieren. Wir meisterten die Herausforderungen durch die Verwendung und Kommunikation von Modellen und entwickelten ein umsetzbares Modell, das die Eigenschaften der verwendeten Verarbeitungsgeräte berücksichtigte.
