DOE et simulation de processus thermique rapide
Jeff Hebert jeffrey.hebert
Texas Instruments
Après avoir modélisé des interactions RTP complexes, nous avons conclu que le système actuel était sous-optimal, que la rétroaction interne de l'outil fonctionnait et que la boucle de rétroaction externe était le problème. Par conséquent, nous n'avions pas besoin de modifier complètement le système, mais pouvions affiner la boucle de rétroaction. Nous avons surmonté les difficultés liées à l'utilisation et à la communication des modèles, convergeant vers un modèle exploitable prenant en compte les caractéristiques de l'équipement de traitement utilisé.
