Analisi della distribuzione multimodale
Scopri le fonti di variabilità nascoste nelle distribuzioni di densità utilizzando la funzionalità di scripting JMP
Astratto
In una fabbrica di semiconduttori, diverse misure elettriche vengono raccolte su diversi wafer di silicio. Le distribuzioni ad esse associate sono tipicamente normali, anche se non sempre è così. Spesso queste distribuzioni mostrano più modi a causa di cambiamenti di processo, deviazioni degli utensili o offset. L'obiettivo è identificare automaticamente i modi multipli sottostanti, minimizzando il rumore.
Autori
Antonio D. D'Angelo, Felice Russo
Azienda
Lfoundry srl
