Multimodale Verteilungsanalyse
Entdecken Sie in Dichteverteilungen verborgene Variabilitätsquellen mithilfe der JMP-Skriptfunktion
Abstrakt
In einer Halbleiterfabrik werden verschiedene elektrische Messungen an verschiedenen Siliziumwafern durchgeführt. Die zugehörigen Verteilungen sind typischerweise normal, auch wenn dies nicht immer der Fall ist. Oftmals weisen diese Verteilungen aufgrund von Prozessverschiebungen, Werkzeugabweichungen oder Offsets mehrere Modi auf. Ziel ist es, die zugrunde liegenden Modi automatisch zu identifizieren und das Rauschen zu minimieren.
Autoren
Antonio D. D'Angelo, Felice Russo
Unternehmen
Lfoundry srl
