Analyse de la distribution multimodale
Découvrez les sources de variabilité cachées dans les distributions de densité en utilisant la capacité de script JMP
Abstrait
Dans une usine de semi-conducteurs, plusieurs mesures électriques sont collectées sur différentes plaquettes de silicium. Les distributions qui leur sont associées sont généralement normales, même si ce n'est pas toujours le cas. Ces distributions présentent souvent plusieurs modes en raison de décalages de processus, d'écarts d'outils ou de décalages. L'objectif est d'identifier automatiquement les multiples modes sous-jacents afin de minimiser le bruit.
Auteurs
Antonio D. D'Angelo, Felice Russo
Entreprise
Lfoundry srl
