精確控制批次參數至關重要。 JSR Micro NV 管理約 100 種不同產品的批次,每個批次包含 20 到 400 個參數。此外,原料也需要嚴格控制。
我們的大部分資料儲存在 SAP HANA 資料庫和 OSI PI 資料歷史記錄器中。 JMP 使用 ODBC 驅動程式從 SAP HANA 查詢數據,並直接存取 OSI PI 伺服器。借助 JMP Live,我們可以持續存取這些資料庫中的最新資料。
JMP 為我們提供了處理和利用資料的完全靈活性,以滿足我們的需求。整個流程簡化了監控,提高了我們的營運效率和品質控制水準。

大家好,我是 Ruben Lenaerts。我將簡要介紹我們在 JSR Micro 如何使用 JMP Live 來自動化我們成品的控製圖。 JSR Micro 位於比利時,我們生產大約一百種不同的產品,所有這些產品都需要控制。此外,我們還需要控制所有用於生產這些產品的原材料。
一個產品就有 20 到 400 個不同的參數,這意味著我們每天都必須仔細查看大量的控製圖,並追蹤大量的材料。為了完成這項工作,我們使用 JMP Live,接下來我將向您展示我們的操作方法。我們的大部分資料已經儲存在 SAP 4/HANA 資料庫中。此外,我們還在 OSI PI 資料歷史記錄器中保存了一些資料。
我們的生產團隊直接使用 OSI PI 系統。他們透過 OSI PI 中的控制圖表,持續監控儲罐和所有生產參數。而對於成品,我們則將所有品質控制測量資料儲存在 SAP 4/HANA 資料庫中,這意味著我們可以持續存取這些資料庫中的最新資料。此外,我們還可以完全控制產生的報告以及資料的處理方式。
JSR是一家成立於1957年的日本公司,是一家擁有約8,000名員工的日本跨國公司。他們主要從事有機化學領域的工作。公司下設聚合物生產部門、生命科學部門,而我所在的部門是半導體部門。
關於我們所從事的半導體產業,我們生產光阻。例如,如果您有矽晶圓或碳化矽晶圓,並且想要在上面製作圖案,那麼首先需要在上面塗覆一層光阻。這種光阻可以曝光,從而製作出您想要的圖案,最終用於製造您想要的裝置。
在比利時的NV公司,我們生產KrF和EUV光刻技術。 EUV光刻技術意味著您可以製作小於14奈米的圖案。一根頭髮的直徑約為10萬奈米,足以說明您是在極小的尺度上進行加工。在如此小的尺度下,有幾個面向至關重要。例如,光阻中不能含有顆粒。金屬含量也不能過高,因為金屬會影響光刻結構的穩定性,進而導致缺陷。此外,您還需要控制功能參數,例如光阻的膜厚和感光度。曝光後,最終呈現的結構類型和寬容度都會受到影響。為了控制所有這些參數,我們使用JMP Live軟體。
那我們該如何實現呢?我現在就來示範。首先,我們需要直接存取儲存成品資料的資料庫。所有資料都在 SAP 系統中,所以我們可以使用 ODBC 驅動程式。例如,您可以直接在 JMP 中使用查詢建構器來存取該驅動程序,就像這裡一樣。您也可以使用 JSR 程式碼中的查詢建構器編寫腳本,或使用 Python 程式碼編寫腳本。使用哪一種方法都無所謂。透過這三種方法,您都可以存取 SAP 4/HANA 資料庫的最新資料。
此外,還需要SAP系統中原料和成品的CoA資料、內部控制限值、客戶限值。所有這些資料都可以透過JMP中的ODBC驅動程式存取。然後,我們需要製作SPC圖表。每個客戶對我們產品的SPC都有自己獨特的理解方式。我們希望能夠以與客戶相同的方式查看數據,確保我們與客戶保持一致。
他們的做法是,在計算控製圖時排除最後一個批次的數據,因為需要評估的是最後一個批次。然後,他們只對最近 20 個批次進行統計製程管制 (SPC) 分析,因為較早的批次對目前流程的代表性較差。此外,他們還可以新增額外的 SPC 規則,例如,查看規則 2 或規則 3。所有這些設定都可以在 JMP 腳本編寫過程中完全配置。
如果您擁有數據並已完成計算,那麼您就可以產生報告。我們的做法是,為每個生產批次產生一份批次報告。在批次報告中,有一個工作表(或標籤頁),其中包含所有超出規格、失控或違反規則 2 和規則 3 的參數的控製圖。這樣,您可以快速概覽該批次中存在問題的項目。
除此之外,還有兩個標籤頁,一個包含最近 20 個批次的控製圖,另一個包含您為該產品生產的所有批次的控製圖。如果出現問題,您可以立即查看最近 20 個批次的控製圖,並追蹤這些批次以了解長期趨勢。此外,我們還會在共用磁碟機上產生一份報告,生產團隊可以將其新增至資料包。
接下來我將向您展示它在 JMP Live 中的樣子。這是 SPC 報告在 JMP Live 中的顯示範例。當然,這是一個虛擬物料,參數也是虛擬的。但您可以看到,例如,對於該產品,參數 AA 超出了控制範圍,但仍在規格範圍內。這個參數也超出了控制範圍。然後您可以初步了解哪些參數超出了控制範圍。例如,這個參數超出了規格範圍。
如果您想了解更多關於參數的信息,例如,參數 AA 與其他參數相關聯,您可以轉到包含所有參數的選項卡,查看相關參數(例如 AC)的變化。如果有新數據,此報告每 5 分鐘更新一次。如果沒有新數據,則保持不變。一份報告即可包含此資料的所有可用數據。我們會為我們生產的所有材料產生此類報告。
最後,我們來總結如何使用 JMP Live 來實現成品控製圖的自動化。首先,最重要的是整理數據。您需要將資料整理到一個清晰且結構化的資料庫中。在我們的範例中,使用的是 SAP 4/HANA。最好對數據進行一些驗證。我們對所有輸入的資料都進行雙重檢查,以確保資料的準確性。否則,您進行的分析可能會出現錯誤。接下來,您可以編寫報告產生腳本。該腳本可以利用您客戶或公司使用的特定分析工具,因此您可以完全自由地進行操作,這要歸功於 JSR。最後,您可以將該腳本提供給公司內的所有使用者。
我要感謝所有參與這個計畫的人。抱歉,主要是我們公司的同事,還有價值鏈上的某位人士,他幫我們在SAP上安裝了ODBC驅動程式。謝謝大家的關注。