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精确定位并减少缺陷

了解如何：

• 将空间缺陷数据减少到几个关键聚类
• 将簇和孤立缺陷与制造过程关联起来，为工艺改进提供方向

了解如何：

• 通过从缺陷的 2D 视图到 3D 视图来检查多维缺陷
• 使用 3D 散点图直观地探索 3D 视图

资源

• 聚类视频
• 多元分析和聚类视频
• 霍夫变换特征提取技术的背景
• JMP 半导体工具包插件，用于创建晶圆图
• 探索峰会视频：所有晶圆图都是错误的：半导体数据可视化的冒险

质量与工艺工程